-
ଆଲୁମିନା ହାଇ-ପ୍ରେସିସନ୍ ସେରାମିକ୍ ରିଙ୍ଗ ସେରାମିକ୍ ପାର୍ଟସ୍
ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ ଦ୍ୱାରା ଗଠିତ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ସିଣ୍ଟରିଂ କରାଯାଇ, ତା'ପରେ ସଠିକ୍ ମେସିନ୍ ଏବଂ ପଲିସ୍ କରାଯାଇ, ସିରାମିକ୍ ସ୍ପେୟାର ପାର୍ଟସ୍ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ଇନସୁଲେସନ ଭଳି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣର ଯେକୌଣସି କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ। ସିରାମିକ୍ ଅନେକ ପ୍ରକାରର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଉପକରଣରେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା, ଭାକ୍ୟୁମ୍ କିମ୍ବା କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସ୍ ସ୍ଥିତି ସହିତ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ କାମ କରିପାରିବ।
ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା ପାଉଡରରୁ ତିଆରି, ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସିଣ୍ଟରିଂ ଏବଂ ପ୍ରିସିସନ୍ ଫିନିସିଂ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ, ଏହା ±0.001 ମିମି, ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ Ra 0.1, ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ 1600 ℃ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପରିମାଣ ସହନଶୀଳତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିପାରିବ।
-
ST.CERA କଷ୍ଟମାଇଜ୍ଡ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣ ସେରାମିକ୍ ଚକ୍ସ
ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ ଦ୍ୱାରା ଗଠିତ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ସିଣ୍ଟରିଂ କରାଯାଇ, ତା'ପରେ ସଠିକ୍ ମେସିନ୍ ଏବଂ ପଲିସ୍ କରାଯାଇ, ସିରାମିକ୍ ସ୍ପେୟାର ପାର୍ଟସ୍ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ଇନସୁଲେସନ ଭଳି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣର ଯେକୌଣସି କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ। ସିରାମିକ୍ ଅନେକ ପ୍ରକାରର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଉପକରଣରେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା, ଭାକ୍ୟୁମ୍ କିମ୍ବା କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସ୍ ସ୍ଥିତି ସହିତ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ କାମ କରିପାରିବ।
ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା ପାଉଡରରୁ ତିଆରି, ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସିଣ୍ଟରିଂ ଏବଂ ପ୍ରିସିସନ୍ ଫିନିସିଂ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ, ଏହା ±0.001 ମିମି, ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ Ra 0.1, ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ 1600 ℃ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପରିମାଣ ସହନଶୀଳତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିପାରିବ।
-
ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC) ସେରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍ - ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ୱେଫର ପରିଚାଳନା ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା
ସେଣ୍ଟସେରାର SiC ସିରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର S1111 ବ୍ୟାଚ୍ ସାମଗ୍ରୀ ବ୍ୟବହାର କରି ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC ବିଷୟବସ୍ତୁ 99.72%, ମୁକ୍ତ Si 0.05%) ରୁ ନିର୍ମିତ। ଏହା ଅସାଧାରଣ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣ ପ୍ରଦାନ କରେ: ନମନୀୟ ଶକ୍ତି 449 MPa (ମାପ), ଇଲାଷ୍ଟିକ୍ ମଡୁଲସ୍ 457 GPa (ମାପ), ଏବଂ ଭିକର୍ସ କଠୋରତା 25-28 GPa (ସାଧାରଣ)। ନିମ୍ନ ଘନତ୍ୱ (3.10–3.15 g/cm³, ସାଧାରଣ) ଏକ ଉଚ୍ଚ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ କଠୋରତା ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ-ଗତି ୱେଫର ସ୍ଥାନାନ୍ତର ରୋବୋଟ୍ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ। 120–150 W/m·K (ସାଧାରଣ) ତାପଜ ପରିବାହିତା ଏବଂ 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ସାଧାରଣ) ତାପଜ ବିସ୍ତାର ଗୁଣାଙ୍କ ସହିତ, ଏହି ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ତାପକୁ ଅପସାରଣ କରେ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ପରିଚାଳନା ସମୟରେ (1600–1700°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, କୌଣସି ଲୋଡ୍ ନାହିଁ) ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ସ୍ଥିରତା ବଜାୟ ରଖେ। କଳା/ଧୂସର ରଙ୍ଗ ଏବଂ ଶୂନ୍ୟ ଜଳ ଅବଶୋଷଣ କ୍ଲିନରୁମ୍ ସୁସଙ୍ଗତତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
-
ଉଚ୍ଚ-ତାପମା ଏବଂ ପ୍ଲାଜମା ପରିବେଶ ପାଇଁ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC) ଆଧାରିତ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍
ସେଣ୍ଟସେରାର SiC-ଆଧାରିତ ସିରାମିକ୍ ଚକ୍ ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (ବ୍ୟାଚ୍ S1111, SiC 99.72%, ମୁକ୍ତ Si 0.05%) ରୁ ନିର୍ମିତ। ଏହା 449 MPa ର ମାପି ନମନୀୟ ଶକ୍ତି, 3.12 MPa·m¹/² ର ଫ୍ରାକ୍ଚର କଠିନତା ଏବଂ 457 GPa ର ଇଲାଷ୍ଟିକ୍ ମଡ୍ୟୁଲ୍ସ ପ୍ରଦାନ କରେ। ସାମଗ୍ରୀର ସାଧାରଣ ତାପଜ ପରିବାହୀତା (120–150 W/m·K) ଏବଂ ନିମ୍ନ ତାପଜ ବିସ୍ତାର (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) ଥର୍ମାଲ୍ ସାଇକେଲିଂ ସମୟରେ ଦ୍ରୁତ ତାପମାତ୍ରା ରାମ୍ପିଂ ଏବଂ ସର୍ବନିମ୍ନ ୱାଫର ୱାର୍ପେଜ୍ ସକ୍ଷମ କରେ। ଚକ୍ କୁ ଏକ ପୋରସ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍ (ଏକନିଫର୍ମ ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରବାହ) କିମ୍ବା ଏକ ଗ୍ରୁଭ୍ଡ୍ ଷ୍ଟାଣ୍ଡାର୍ଡ ଚକ୍ ଭାବରେ ବିନ୍ୟାସ କରାଯାଇପାରିବ। ସର୍ବାଧିକ ବ୍ୟବହାର ତାପମାତ୍ରା 1600–1700°C (ଲୋଡ୍ ନାହିଁ) ଏବଂ ଅସାଧାରଣ ପ୍ଲାଜ୍ମା କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ ସହିତ, ଏହି ଚକ୍ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ୱାଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ (ଆନିଲିଂ, RTP) ଏବଂ ଆକ୍ରମଣାତ୍ମକ ଏଚ୍ ଚାମ୍ବର ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ଯେଉଁଠାରେ ଆଲୁମିନା ଚକ୍ କ୍ଷୟ ହୁଏ।
-
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପେୟାର ପାର୍ଟସ୍ ସେରାମିକ୍ କ୍ୟାରିଅର୍
ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ ଦ୍ୱାରା ଗଠିତ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ସିଣ୍ଟରିଂ କରାଯାଇ, ତା'ପରେ ସଠିକ୍ ମେସିନ୍ ଏବଂ ପଲିସ୍ କରାଯାଇ, ସିରାମିକ୍ ସ୍ପେୟାର ପାର୍ଟସ୍ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ଇନସୁଲେସନ ଭଳି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣର ଯେକୌଣସି କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ। ସିରାମିକ୍ ଅନେକ ପ୍ରକାରର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଉପକରଣରେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା, ଭାକ୍ୟୁମ୍ କିମ୍ବା କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସ୍ ସ୍ଥିତି ସହିତ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ କାମ କରିପାରିବ।
ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା ପାଉଡରରୁ ତିଆରି, ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସିଣ୍ଟରିଂ ଏବଂ ପ୍ରିସିସନ୍ ଫିନିସିଂ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ, ଏହା ±0.001 ମିମି, ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ Ra 0.1, ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ 1600 ℃ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପରିମାଣ ସହନଶୀଳତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିପାରିବ।
-
ଉଚ୍ଚ-କଠୋରତା ଲାପିଂ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଧାତୁ-ପୃଷ୍ଠାଯୁକ୍ତ ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ରିଙ୍ଗ
ସେଣ୍ଟସେରାର ଧାତୁ ଆଧାରିତ ଆଲୁମିନା ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ରିଙ୍ଗ ଏକ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା (99.8% Al₂O₃) ସିରାମିକ୍ ୱେୟାର ସ୍ତରକୁ ଏକ ପ୍ରିସିସନ୍-ମେସିନିଂ ଧାତୁ ବ୍ୟାକିଂ (ସାଧାରଣତଃ ଆଲୁମିନିୟମ୍ କିମ୍ବା ଷ୍ଟେନଲେସ୍ ଷ୍ଟିଲ୍) ସହିତ ମିଶ୍ରଣ କରେ। ଏହି ହାଇବ୍ରିଡ୍ ଡିଜାଇନ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପୃଷ୍ଠରେ ସିରାମିକ୍ର ଅସାଧାରଣ ୱେୟାର ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଜଡ଼ତା ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯେତେବେଳେ ଧାତୁ ଆଧାର ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଶକ୍ତି, ସହଜ ସ୍ଥାପନ ଏବଂ ଭଙ୍ଗୁର ଭଙ୍ଗା ପ୍ରତିରୋଧ ଯୋଗ କରେ। ଆଲୁମିନା ସ୍ତର 361 MPa ର ନମନୀୟ ଶକ୍ତି, 16 GPa ର ଭିକର୍ସ କଠୋରତା ଏବଂ 800°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ। ଧାତୁ ଆଧାରକୁ ଲାପିଂ ମେସିନ୍, ପ୍ଲାନେଟ୍ରି ଗ୍ରାଇଣ୍ଡର୍ ଏବଂ CMP ଉପକରଣରେ ସମନ୍ୱୟ ପାଇଁ ମାଉଣ୍ଟିଂ ହୋଲ୍, ଲୋକେଟିଂ ପିନ୍ କିମ୍ବା ଚୁମ୍ବକୀୟ ଗୁଣ ସହିତ କଷ୍ଟମାଇଜ୍ କରାଯାଇଛି।
-
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରୋବ୍ ଷ୍ଟେସନ୍ ଉପକରଣ ପାଇଁ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପେୟାର ପାର୍ଟସ୍
ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ ଦ୍ୱାରା ଗଠିତ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ସିଣ୍ଟରିଂ କରାଯାଇ, ତା'ପରେ ସଠିକ୍ ମେସିନ୍ ଏବଂ ପଲିସ୍ କରାଯାଇ, ସିରାମିକ୍ ସ୍ପେୟାର ପାର୍ଟସ୍ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ଇନସୁଲେସନ ଭଳି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣର ଯେକୌଣସି କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ। ସିରାମିକ୍ ଅନେକ ପ୍ରକାରର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଉପକରଣରେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା, ଭାକ୍ୟୁମ୍ କିମ୍ବା କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସ୍ ସ୍ଥିତି ସହିତ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ କାମ କରିପାରିବ।
ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା ପାଉଡରରୁ ତିଆରି, ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସିଣ୍ଟରିଂ ଏବଂ ପ୍ରିସିସନ୍ ଫିନିସିଂ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ, ଏହା ±0.001 ମିମି, ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ Ra 0.1, ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ 1600 ℃ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପରିମାଣ ସହନଶୀଳତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିପାରିବ।
-
Al2O3 ସେରାମିକ୍ ୱେଫର ଚକର କଷ୍ଟମାଇଜ୍ଡ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ
ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ ଦ୍ୱାରା ଗଠିତ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ସିଣ୍ଟରିଂ କରାଯାଇ, ତା'ପରେ ସଠିକ୍ ମେସିନ୍ ଏବଂ ପଲିସ୍ କରାଯାଇ, ସିରାମିକ୍ ସ୍ପେୟାର ପାର୍ଟସ୍ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ଇନସୁଲେସନ ଭଳି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣର ଯେକୌଣସି କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ। ସିରାମିକ୍ ଅନେକ ପ୍ରକାରର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଉପକରଣରେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା, ଭାକ୍ୟୁମ୍ କିମ୍ବା କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସ୍ ସ୍ଥିତି ସହିତ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ କାମ କରିପାରିବ।
ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା ପାଉଡରରୁ ତିଆରି, ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସିଣ୍ଟରିଂ ଏବଂ ପ୍ରିସିସନ୍ ଫିନିସିଂ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ, ଏହା ±0.001 ମିମି, ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ Ra 0.1, ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ 1600 ℃ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପରିମାଣ ସହନଶୀଳତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିପାରିବ।
-
ST.CERA କଷ୍ଟମାଇଜ୍ଡ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣ ସିରାମିକ୍ ପ୍ଲେଟ୍
ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ ଦ୍ୱାରା ଗଠିତ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ସିଣ୍ଟରିଂ କରାଯାଇ, ତା'ପରେ ସଠିକ୍ ମେସିନ୍ ଏବଂ ପଲିସ୍ କରାଯାଇ, ସିରାମିକ୍ ସ୍ପେୟାର ପାର୍ଟସ୍ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ଇନସୁଲେସନ ଭଳି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣର ଯେକୌଣସି କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ। ସିରାମିକ୍ ଅନେକ ପ୍ରକାରର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଉପକରଣରେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା, ଭାକ୍ୟୁମ୍ କିମ୍ବା କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସ୍ ସ୍ଥିତି ସହିତ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ କାମ କରିପାରିବ।
ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା ପାଉଡରରୁ ତିଆରି, ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସିଣ୍ଟରିଂ ଏବଂ ପ୍ରିସିସନ୍ ଫିନିସିଂ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ, ଏହା ±0.001 ମିମି, ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ Ra 0.1, ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ 1600 ℃ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପରିମାଣ ସହନଶୀଳତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିପାରିବ।
-
300mm ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ 12-ଇଞ୍ଚ ଆଲୁମିନା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍
ସେଣ୍ଟସେରାର 12-ଇଞ୍ଚ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍ 300mm ୱାଫର ହ୍ୟାଣ୍ଡଲିଂ ପାଇଁ 99.8% ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) ରୁ ସଠିକତା-ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ କରାଯାଇଛି। ଚକ୍ ରେ ଏକ ସୂକ୍ଷ୍ମ-ଖାଞ୍ଚିତ ପୃଷ୍ଠ (ଖାଞ୍ଚ ପ୍ରସ୍ଥ 0.5-1.0 mm, ପିଚ୍ 2-3 mm) ରହିଛି ଯାହା ସମଗ୍ର 300mm ବ୍ୟାସରେ ସମାନ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବଣ୍ଟନ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିଥାଏ। 5 μm ମଧ୍ୟରେ ସମତଳତା ବଜାୟ ରଖାଯାଏ, ଯାହା ଡାଇସିଂ, ପଛପାର୍ଶ୍ୱ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଏବଂ ଯାଞ୍ଚ ସମୟରେ ୱାର୍ପ୍-ଫ୍ରି ୱାଫର ସ୍ଥିରୀକରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ। ସାମଗ୍ରୀର ଉଚ୍ଚ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି (361 MPa) ଏବଂ କଠୋରତା (16 GPa) ବାରମ୍ବାର ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍ରରେ ମଧ୍ୟ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ସ୍ଥିରତା ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି କରେ।
-
ସମନ୍ୱିତ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚ୍ୟାନେଲ ସହିତ ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍
ସେଣ୍ଟସେରାର ଆଲୁମିନା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍ ସିଧାସଳଖ 99.8% ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା ବଡିରେ ସଠିକ୍ ମେସିନ୍ ହୋଇଥିବା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚ୍ୟାନେଲ୍ ଏବଂ ସକ୍ସନ୍ ହୋଲ୍ସକୁ ଏକୀକୃତ କରିଥାଏ। ଏହି ଡିଜାଇନ୍ ବାହ୍ୟ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପ୍ୟାଡ୍ଗୁଡ଼ିକୁ ଦୂର କରିଥାଏ, ସମାନ ଧରି ରଖିବା ବଳ ସହିତ ସିଧାସଳଖ ୱାଫର ପିକଅପ୍ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ। ସାମଗ୍ରୀର ଉଚ୍ଚ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି (361 MPa) ଏବଂ କଠୋରତା (16 GPa) ବାରମ୍ବାର ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍ର ଅଧୀନରେ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସ୍ଥିରତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିଥାଏ। ପ୍ୟାଡ୍ ଅଞ୍ଚଳରେ ସମତଳତା 10 μm ମଧ୍ୟରେ ବଜାୟ ରଖାଯାଏ, ୱାଫର ଚାପ ଏବଂ ଭାଙ୍ଗିବାକୁ ରୋକିଥାଏ। OEM ରୋବୋଟ୍ ବାହୁ ସହିତ ସହଜ ସମନ୍ୱୟ ପାଇଁ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପୋର୍ଟଗୁଡ଼ିକ ପଛ ମାଉଣ୍ଟିଂ ଫ୍ଲାଞ୍ଜରେ ଅବସ୍ଥିତ।
-
ସ୍ଥିର-ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ୱେଫର ପରିଚାଳନା ପାଇଁ ESD-ସୁରକ୍ଷିତ ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ଅଂଶ
ସେଣ୍ଟସେରାର ESD (ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ଡିସଚାର୍ଜ) ସୁରକ୍ଷିତ ଆଲୁମିନା ସିରାମିକ୍ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକ 99.8% ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା Al₂O₃ ରୁ ନିର୍ମିତ ଏବଂ 10⁶–10⁹ Ω/ବର୍ଗ ବର୍ଗର ଏକ ଉପଯୁକ୍ତ ପୃଷ୍ଠ ପ୍ରତିରୋଧକତା ସହିତ, ଏକ ମାଲିକାନା ଡୋପିଂ କିମ୍ବା ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ ହାସଲ କରାଯାଇଛି। ଏହି ଅଂଶଗୁଡ଼ିକ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ସ୍ଥିର ଚାର୍ଜକୁ ନଷ୍ଟ କରିଦିଏ, ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ୱେଫର୍ ଏବଂ ଡିଭାଇସଗୁଡ଼ିକୁ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଷ୍ଟାଟିକ୍ କ୍ଷତିକୁ ରୋକିଥାଏ। ମୂଳ ସାମଗ୍ରୀ ଏହାର ଉଚ୍ଚ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି (361 MPa), କଠୋରତା (16 GPa), ଏବଂ ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଶକ୍ତି (15×10⁶ V/m) ବଜାୟ ରଖେ। ESD-ସୁରକ୍ଷିତ ସିରାମିକ୍ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକରେ ଶେଷ ପ୍ରଭାବକ, ଲିଫ୍ଟ ପିନ୍, ଗାଇଡ୍ ରେଲ୍ ଏବଂ FAB ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ପାଇଁ କଷ୍ଟମ୍ ଫିକ୍ସଚର ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ।
