ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC) ସେରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍ - ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ୱେଫର ପରିଚାଳନା ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା
ସେଣ୍ଟସେରାର SiC ସିରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର S1111 ବ୍ୟାଚ୍ ସାମଗ୍ରୀ ବ୍ୟବହାର କରି ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC ବିଷୟବସ୍ତୁ 99.72%, ମୁକ୍ତ Si 0.05%) ରୁ ନିର୍ମିତ। ଏହା ଅସାଧାରଣ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣ ପ୍ରଦାନ କରେ: ନମନୀୟ ଶକ୍ତି 449 MPa (ମାପ), ଇଲାଷ୍ଟିକ୍ ମଡୁଲସ୍ 457 GPa (ମାପ), ଏବଂ ଭିକର୍ସ କଠୋରତା 25-28 GPa (ସାଧାରଣ)। ନିମ୍ନ ଘନତ୍ୱ (3.10–3.15 g/cm³, ସାଧାରଣ) ଏକ ଉଚ୍ଚ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ କଠୋରତା ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ-ଗତି ୱେଫର ସ୍ଥାନାନ୍ତର ରୋବୋଟ୍ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ। 120–150 W/m·K (ସାଧାରଣ) ତାପଜ ପରିବାହିତା ଏବଂ 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ସାଧାରଣ) ତାପଜ ବିସ୍ତାର ଗୁଣାଙ୍କ ସହିତ, ଏହି ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ତାପକୁ ଅପସାରଣ କରେ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ପରିଚାଳନା ସମୟରେ (1600–1700°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, କୌଣସି ଲୋଡ୍ ନାହିଁ) ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ସ୍ଥିରତା ବଜାୟ ରଖେ। କଳା/ଧୂସର ରଙ୍ଗ ଏବଂ ଶୂନ୍ୟ ଜଳ ଅବଶୋଷଣ କ୍ଲିନରୁମ୍ ସୁସଙ୍ଗତତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
ବିଶେଷତାଗୁଡ଼ିକ(ଯୋଗାଣ କରାଯାଇଥିବା SiC S1111 ପରୀକ୍ଷଣ ରିପୋର୍ଟ ଏବଂ ସାଧାରଣ ମୂଲ୍ୟ ଉପରେ ଆଧାରିତ)):
| ସମ୍ପତ୍ତି | ମୂଲ୍ୟ |
| ସାମଗ୍ରୀ | SiC (୯୯.୭୨% SiC, ୦.୦୫% ମାଗଣା Si) |
| ରଙ୍ଗ | କଳା/ଧୂସର |
| ଘନତ୍ୱ | ୩.୧୦–୩.୧୫ ଗ୍ରାମ/ସେମି³ |
| ଜଳ ଅବଶୋଷଣ | 0% |
| ନମନୀୟ ଶକ୍ତି | ୪୪୯ MPa (ହାରାହାରି) |
| ଫ୍ରାକ୍ଚର କଠୋରତା | ୩.୧୨ MPa·m¹/² (ହାରାହାରି) |
| ଇଲାଷ୍ଟିକ୍ ମଡ୍ୟୁଲସ୍ | ୪୫୭ ଜିପିଏ |
| ଭିକରସ୍ କଠିନତା | ୨୫-୨୮ ଜିପିଏ |
| ତାପଜ ପରିବାହୀତା (୨୫°C) | ୧୨୦–୧୫୦ ୱାଟ୍/ମି·କେଲିଟାର୍ |
| CTE (୨୫–୧୦୦୦°C) | ୪.୦–୪.୫×୧୦⁻⁶/℃ |
| ସର୍ବାଧିକ ବ୍ୟବହାର ତାପମାତ୍ରା (ଲୋଡ୍ ନାହିଁ) | ୧୬୦୦–୧୭୦୦°C |
ପ୍ରୟୋଗ:
● ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ୱେଫର ପରିଚାଳନା (ପୋଷ୍ଟ-ଆନିଏଲ୍, RTP, ଏପିଟାକ୍ସି)
● ପ୍ଲାଜ୍ମା ଏଚ୍ ଚାମ୍ବର ଯାହାକୁ ଉଚ୍ଚ କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ ଆବଶ୍ୟକ।
● ହାଇ-ସ୍ପିଡ୍ ଟ୍ରାନ୍ସଫର ରୋବୋଟ୍ (ହାଲୁକା, ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା)
ଉତ୍ପାଦନ:
SiC ପାଉଡର ସିଣ୍ଟରିଂ → ଆର୍ମ ପ୍ରୋଫାଇଲ ଏବଂ ମାଉଣ୍ଟିଂ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକର ସଠିକତା CNC ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ → ପୃଷ୍ଠ ଲାପିଂ → ଅଲ୍ଟ୍ରାସୋନିକ ସଫା କରିବା। ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ 100% ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ନିରୀକ୍ଷଣ ଏବଂ ହିଲିୟମ୍ ଲିକ୍ ପରୀକ୍ଷା।
ଗୁଣବତ୍ତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ:
● ଲମ୍ବ, ପ୍ରସ୍ଥ ଏବଂ ସମତଳତାର CMM ଯାଞ୍ଚ।
● ପ୍ରତି ବ୍ୟାଚ୍ ପାଇଁ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି ପରୀକ୍ଷା (ପରୀକ୍ଷା ରିପୋର୍ଟ ମାନକ ଅନୁସାରେ)
● ପୃଷ୍ଠ ଦୋଷ ପାଇଁ ଅଣୁବୀକ୍ଷଣ ଯନ୍ତ୍ର ତଳେ ଦୃଶ୍ୟ ନିରୀକ୍ଷଣ।
ଆଲୁମିନା କିମ୍ବା ଧାତୁ ଉପରେ ଲାଭ:
● 2× ଅଧିକ ଇଲାଷ୍ଟିକ୍ ମଡ୍ୟୁଲସ୍ (ଆଲୁମିନା ପାଇଁ ~380 GPa ବନାମ 457) - କମ୍ ବିଚ୍ୟୁତି
● 3× ଅଧିକ ତାପଜ ପରିବାହୀତା - ଦ୍ରୁତ ତାପ ଅପଚୟ
● ବାୟୁରେ ଆଲୁମିନାର 800°C ବନାମ 1600°C ରୁ ଅଧିକ ତାପମାତ୍ରା ସହ୍ୟ କରେ।
● ଇସ୍ପାତ ଅପେକ୍ଷା କମ୍ ଘନତ୍ୱ - 40% ଓଜନ ହ୍ରାସ
କଷ୍ଟମାଇଜେସନ୍:
ଲମ୍ବ 150–450 ମିମି, ଟିପ୍ ଆକାର (ଧାର ଗ୍ରୀପ୍, ବର୍ଣ୍ଣୋଲି, ଫ୍ଲାଟ୍), ପ୍ରତି OEM ଡ୍ରଇଂରେ ମାଉଣ୍ଟିଂ ଫ୍ଲାଞ୍ଜ ପ୍ୟାଟର୍ନ।
*ଉପରୋକ୍ତ ସମସ୍ତ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ତଥ୍ୟ ଯୋଗାଇ ଦିଆଯାଇଥିବା ପରୀକ୍ଷଣ ରିପୋର୍ଟ (ବ୍ୟାଚ୍ S1111) ରୁ ଆସିଛି। ଏହି SiC ଗ୍ରେଡ୍ ପାଇଁ ତାପଜ ଏବଂ କଠୋରତା ମୂଲ୍ୟ ସାଧାରଣ; ଲଟ୍-ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପ୍ରମାଣପତ୍ର ପାଇଁ ଦୟାକରି ଆମ ସହିତ ଯୋଗାଯୋଗ କରନ୍ତୁ।*
