300mm ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ 12-ଇଞ୍ଚ ଆଲୁମିନା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍
ସେଣ୍ଟସେରାର 12-ଇଞ୍ଚ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍ 300mm ୱାଫର ହ୍ୟାଣ୍ଡଲିଂ ପାଇଁ 99.8% ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) ରୁ ସଠିକତା-ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ କରାଯାଇଛି। ଚକ୍ ରେ ଏକ ସୂକ୍ଷ୍ମ-ଖାଞ୍ଚିତ ପୃଷ୍ଠ (ଖାଞ୍ଚ ପ୍ରସ୍ଥ 0.5-1.0 mm, ପିଚ୍ 2-3 mm) ରହିଛି ଯାହା ସମଗ୍ର 300mm ବ୍ୟାସରେ ସମାନ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବଣ୍ଟନ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିଥାଏ। 5 μm ମଧ୍ୟରେ ସମତଳତା ବଜାୟ ରଖାଯାଏ, ଯାହା ଡାଇସିଂ, ପଛପାର୍ଶ୍ୱ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଏବଂ ଯାଞ୍ଚ ସମୟରେ ୱାର୍ପ୍-ଫ୍ରି ୱାଫର ସ୍ଥିରୀକରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ। ସାମଗ୍ରୀର ଉଚ୍ଚ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି (361 MPa) ଏବଂ କଠୋରତା (16 GPa) ବାରମ୍ବାର ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍ରରେ ମଧ୍ୟ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ସ୍ଥିରତା ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି କରେ।
ବିଶେଷତାଗୁଡ଼ିକ (୯୯.୮% Al₂O₃ ଉପରେ ଆଧାରିତ):
| ସମ୍ପତ୍ତି | ମୂଲ୍ୟ |
| ବ୍ୟାସ | ୩୦୦ ମିମି (୧୨ ଇଞ୍ଚ) |
| ସାମଗ୍ରୀ | ୯୯.୮% ଆଲୁମିନା (ହାତୀଦାନ୍ତ) |
| ଘନତ୍ୱ | ୩.୯୩ ଗ୍ରାମ/ସେମି³ |
| ନମନୀୟ ଶକ୍ତି | ୩୬୧ ଏମ୍ପିଏ |
| ଭିକରସ୍ କଠିନତା | ୧୬ ଜିପିଏ |
| ସମତଳତା (300 ମିମିରୁ ଅଧିକ) | ≤5 μମି |
| ଗ୍ରୂଭ୍ ପ୍ରସ୍ଥ | ୦.୫-୧.୦ ମିମି |
| ସର୍ବାଧିକ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ତାପମାତ୍ରା | ୮୦୦°ସେ. |
| ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଶକ୍ତି | ୧୫×୧୦⁶ ଭ/ମି |
ପ୍ରୟୋଗ:
300 ମିମି ୱାଫର ଡାଇସିଂ ଏବଂ ସ୍କ୍ରିବିଂ
ୱେଫର ପଛପାର୍ଶ୍ୱ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ (ପତଳା ୱାଫର ସପୋର୍ଟ)
ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ନିରୀକ୍ଷଣ ଏବଂ ଯାଞ୍ଚ
ଅସ୍ଥାୟୀ ବନ୍ଧନ/ଡିବଣ୍ଡିଂ ଚକ୍
ଉତ୍ପାଦନ:
CNC ଭୂମି ଏବଂ ଶେଷ ସମତଳତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଲାପ୍ କରାଯାଇଛି, ହୀରା ଚକ ସହିତ ଗ୍ରୁପ୍ କରାଯାଇଛି, ଅଲ୍ଟ୍ରାସୋନିକ ଭାବରେ ସଫା କରାଯାଇଛି, ଏବଂ ଶ୍ରେଣୀ 100 କ୍ଲିନରୁମରେ ପ୍ୟାକେଜ୍ କରାଯାଇଛି। ପ୍ରତ୍ୟେକ ଚକ୍ ସମତଳତା (ଲେଜର ଇଣ୍ଟରଫେରୋମିଟର) ଏବଂ ଗ୍ରୁଭ୍ ଗଭୀରତା (ପ୍ରୋଫାଇଲୋମିଟର) ପାଇଁ 100% ଯାଞ୍ଚ କରାଯାଇଛି।
ଲାଭ:
କମ୍ କଣିକା ସୃଷ୍ଟି (≤0.05 କଣିକା/ସେମି²)
ଦ୍ରାବକ ଏବଂ ଏସିଡ୍ ପ୍ରତି ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ନିଷ୍କ୍ରିୟ
ESD-ସୁରକ୍ଷିତ ପୃଷ୍ଠ (ପ୍ରତିରୋଧକତା >10¹³ Ω·ସେମି)
କଷ୍ଟମ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ହୋଲ୍ ପ୍ୟାଟର୍ଣ୍ଣ ଏବଂ ପଛପାର୍ଶ୍ୱ ପୋର୍ଟ ଉପଲବ୍ଧ।
