ପୃଷ୍ଠା_ବ୍ୟାନର

ପତଳା ୱେଫର ପରିଚାଳନା ପାଇଁ ଆଲୁମିନା-ଆଧାରିତ ପୋରସ୍ ସେରାମିକ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍

ପତଳା ୱେଫର ପରିଚାଳନା ପାଇଁ ଆଲୁମିନା-ଆଧାରିତ ପୋରସ୍ ସେରାମିକ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍

ସଂକ୍ଷିପ୍ତ ବର୍ଣ୍ଣନା:

ସେଣ୍ଟସେରାର ଆଲୁମିନା-ଆଧାରିତ ପୋରସ୍ ଚକ୍ 99.6% ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା Al₂O₃ ରୁ ନିର୍ମିତ, ଯାହାର ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ଖୋଲା ପୋରୋସିଟି 30-45% ଏବଂ ସମାନ ପୋରସ୍ ଆକାର 10 ରୁ 50 μm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ। ଗ୍ରୁଭ୍ଡ୍ ଚକ୍ ପରି ନୁହେଁ, ପୋରସ୍ ପୃଷ୍ଠ ସମଗ୍ର ୱାଫର ପଛପାର୍ଶ୍ୱରେ ବଣ୍ଟାଯାଇଥିବା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପ୍ରଦାନ କରେ, ଧାର ଚିହ୍ନକୁ ଦୂର କରେ ଏବଂ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ଥିନ୍ (≤100 μm) କିମ୍ବା ୱାର୍ପ୍ଡ୍ ୱାଫରଗୁଡ଼ିକୁ ମୃଦୁ ଭାବରେ ଧରି ରଖିବା ସକ୍ଷମ କରେ। ଏହି ସାମଗ୍ରୀ ≥250 MPa ନମନୀୟ ଶକ୍ତି ଏବଂ ବାୟୁରେ 400°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ।


ଉତ୍ପାଦ ବିବରଣୀ

ଉତ୍ପାଦ ଟ୍ୟାଗ୍‌ଗୁଡ଼ିକ

ସେଣ୍ଟସେରାର ଆଲୁମିନା-ଆଧାରିତ ପୋରସ୍ ଚକ୍ 99.6% ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା Al₂O₃ ରୁ ନିର୍ମିତ, ଯାହାର ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ଖୋଲା ପୋରୋସିଟି 30-45% ଏବଂ ସମାନ ପୋରସ୍ ଆକାର 10 ରୁ 50 μm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ। ଗ୍ରୁଭ୍ଡ୍ ଚକ୍ ପରି ନୁହେଁ, ପୋରସ୍ ପୃଷ୍ଠ ସମଗ୍ର ୱାଫର ପଛପାର୍ଶ୍ୱରେ ବଣ୍ଟାଯାଇଥିବା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପ୍ରଦାନ କରେ, ଧାର ଚିହ୍ନକୁ ଦୂର କରେ ଏବଂ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ଥିନ୍ (≤100 μm) କିମ୍ବା ୱାର୍ପ୍ଡ୍ ୱାଫରଗୁଡ଼ିକୁ ମୃଦୁ ଭାବରେ ଧରି ରଖିବା ସକ୍ଷମ କରେ। ଏହି ସାମଗ୍ରୀ ≥250 MPa ନମନୀୟ ଶକ୍ତି ଏବଂ ବାୟୁରେ 400°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ।

 

ବିଶେଷତାଗୁଡ଼ିକ(୯୯.୬% Al ଉପରେ ଆଧାରିତ)O):

ସମ୍ପତ୍ତି ମୂଲ୍ୟ
ସାମଗ୍ରୀ ୯୯.୬% ଆଲୁମିନା (ଧଳା)
ଛିଦ୍ରତା 30–45% (ସମାୟୋଜନଯୋଗ୍ୟ)
ମଧ୍ୟମ ଛିଦ୍ର ଆକାର ୧୦-୫୦ ମାଇକ୍ରୋମିଟର
ନମନୀୟ ଶକ୍ତି ≥୨୫୦ ମେଗାପାଏଲ
ଘନତ୍ୱ ୩.୮୮ ଗ୍ରାମ/ସେମି³
ସମତଳତା (୨୦୦ ମିମିରୁ ଅଧିକ) ≤5 μମି
ସର୍ବାଧିକ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ତାପମାତ୍ରା ୪୦୦°C (ବାୟୁ)
ପୃଷ୍ଠ ସମାପ୍ତି ଲାପ୍ (Ra ≤0.8 μm)

 

ପ୍ରୟୋଗ:

  • · ପତଳା ୱେଫର (≤50 μm) ପଛପାର୍ଶ୍ୱ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ
  • · ଡାଇସିଂ ପାଇଁ ୱାର୍ପ୍ଡ ୱାଫର ମାଉଣ୍ଟିଂ
  • · ସିଙ୍ଗୁଲେଟେଡ୍ ଡାଇ ପିକ୍-ଅପ୍
  • · କାଚ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପରିଚାଳନା

 

ଉତ୍ପାଦନ:

ପୋର୍ ଫର୍ମର୍ ସହିତ ମିଶ୍ରିତ ପାଉଡର → ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ → 1600°C ରେ ସିଣ୍ଟରିଂ → ଅନ୍ତିମ ଘନତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଲାପିଂ। ପ୍ରତ୍ୟେକ ଚକ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସମାନତା (ଚାପ ବିଚ୍ୟୁତି <5%) ପାଇଁ ପ୍ରବାହ-ପରୀକ୍ଷିତ ହୁଏ ଏବଂ ପୋର୍ ଆକାର ବଣ୍ଟନ (SEM) ପାଇଁ ଯାଞ୍ଚ କରାଯାଏ।

 

ପାରମ୍ପରିକ ଚକ୍ ଅପେକ୍ଷା ଲାଭ:

  • · କୌଣସି ୱେଫର ପଛପାର୍ଶ୍ୱ ଚିହ୍ନ କିମ୍ବା ଡାଇ ସିଫ୍ଟ ନାହିଁ
  • · 500 μm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଧନୁ ସହିତ ୱେଫର୍ସ ଧରିଥାଏ।
  • · ସ୍ୱୟଂ-ସଫା ପୃଷ୍ଠ (ଛିଦ୍ରଗୁଡ଼ିକ ବନ୍ଦ ହୋଇ ରହିବାକୁ ପ୍ରତିରୋଧ କରେ)
  • · ୟୁନିଫର୍ମ ସମର୍ଥନ ସ୍ଥାନୀୟ ଚାପକୁ ଦୂର କରେ

 

Cବ୍ୟବହାର:

ଗୋଲ କିମ୍ବା ବର୍ଗାକାର ଆକୃତି, ବ୍ୟାସ 100-450 ମିମି। ଜୋନ୍ ହୋଇଥିବା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପାଇଁ ଏଜ୍ ସିଲିଂ ରିଙ୍ଗ ଉପଲବ୍ଧ।

 

ଆପଣଙ୍କର ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ୱାଫର ଆକାର ପାଇଁ ଏକ ନମୁନା ଅନୁରୋଧ କରନ୍ତୁ।


  • ପୂର୍ବବର୍ତ୍ତୀ:
  • ପରବର୍ତ୍ତୀ: