ୱାର୍ପ୍ଡ ୱେଫର ହ୍ୟାଣ୍ଡଲିଂ ପାଇଁ ପୋରସ୍ ସେରାମିକ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍
ସେଣ୍ଟସେରାର ପୋରସ୍ ସିରାମିକ୍ ଚକ୍ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନାରୁ ତିଆରି କରାଯାଇଛି ଯାହାର ସମାନ ଖୋଲା ପୋରୋସିଟି 30-45% ଏବଂ 10 ରୁ 100 μm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଛିଦ୍ର ଆକାର ଅଟେ। ପାରମ୍ପରିକ ଗ୍ରୁଭ୍ଡ୍ ଚକ୍ ପରି ନୁହେଁ, ପୋରସ୍ ପୃଷ୍ଠ ସମଗ୍ର ୱାଫର ପଛପାର୍ଶ୍ୱରେ ବଣ୍ଟାଯାଇଥିବା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପ୍ରଦାନ କରେ, ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଧାର ଲିଫ୍ଟ-ଅଫ୍ କିମ୍ବା ଭାଙ୍ଗିବା ବିନା ବିକୃତ, ପତଳା କିମ୍ବା ଏକକ ୱାଫରକୁ ଧରି ରଖେ। କୋମଳ ଭାକ୍ୟୁମ୍ (ପ୍ରତିବନ୍ଧକ ମାଧ୍ୟମରେ ଆଡଜଷ୍ଟେବଲ୍) ପଛପାର୍ଶ୍ୱ ଚିହ୍ନକୁ ମଧ୍ୟ ରୋକିଥାଏ।
ବିଶେଷତାଗୁଡ଼ିକ(୯୯.୬% Al ଉପରେ ଆଧାରିତ)₂O₃):
| ସମ୍ପତ୍ତି | ମୂଲ୍ୟ |
| ଛିଦ୍ରତା | ୩୦-୪୫% |
| ମଧ୍ୟମ ଛିଦ୍ର ଆକାର | ୧୦-୧୦୦ μm (ଚୟନଯୋଗ୍ୟ) |
| ନମନୀୟ ଶକ୍ତି | ≥୨୫୦ ମେଗାପାଏଲ |
| ସମତଳତା (300 ମିମିରୁ ଅଧିକ) | ≤5 μମି |
| ପୃଷ୍ଠ ସମାପ୍ତି | ଲାପ୍ଡ୍ (Ra 0.8 μm) |
| ସର୍ବାଧିକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତର | -୮୦ କେପିଏ |
| କାର୍ଯ୍ୟତାପ | ୪୦୦°C (ବାୟୁ), ୬୦୦°C (ଜଡ଼) |
| ସାମଗ୍ରୀ | 99.6% Al₂O₃, ZrO₂, କିମ୍ବା SiC | |
ପ୍ରୟୋଗ:
ପତଳା ୱାଫର (≤50 μm) ପଛପାର୍ଶ୍ୱ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ
ଡାଇସିଂ ପାଇଁ ୱାର୍ପ୍ଡ ୱାଫର ମାଉଣ୍ଟିଂ
ଟେପ୍ ରୁ ସିଙ୍ଗୁଲେଟେଡ୍ ଡାଏ ପିକ୍-ଅପ୍
କାଚ ପ୍ୟାନେଲ ପରିଚାଳନା
ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ଗୁଣବତ୍ତା:
ଜୈବିକ ପୋର୍ ଫର୍ମର୍ ସହିତ ମିଶାଯାଇଥିବା ସିରାମିକ୍ ପାଉଡର → ଚାପି → ସିଣ୍ଟର୍ → ଚୂଡ଼ାନ୍ତ ଘନତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଲାପ୍ କରାଯାଇଛି। ପ୍ରତ୍ୟେକ ଚକ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସମାନତା (≤5% ବିଚ୍ୟୁତି) ପାଇଁ ପ୍ରବାହ-ପରୀକ୍ଷିତ ହୋଇଛି ଏବଂ ପୋର୍ ଆକାର ବଣ୍ଟନ (SEM) ପାଇଁ ଯାଞ୍ଚ କରାଯାଇଛି। ଲେଜର ଇଣ୍ଟରଫେରୋମିଟର ସାହାଯ୍ୟରେ ସମତଳତା ମାପ କରାଯାଇଛି।
ଗ୍ରୁଭଡ୍ ଚକ୍ସ ଅପେକ୍ଷା ଲାଭ:
କୌଣସି ୱାଫର ଏଜ୍ ମାର୍କିଂ କିମ୍ବା ଡାଇ ସିଫ୍ଟ ନାହିଁ
ବିକୃତ ୱେଫର ଧରିଥାଏ (500 μm ଧନୁ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ)
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ହୋଲ୍ କ୍ଲଗ୍ଗିଂକୁ ଦୂର କରେ
ପତଳା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପାଇଁ ସ୍ୱ-ସମତଳ ସମର୍ଥନ
କଷ୍ଟମାଇଜେସନ୍:
ଗୋଲ କିମ୍ବା ଆୟତାକାର ଆକାର, 600 ମିମି ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଆକାର। ଆମେ ଧାର ସିଲିଂ ରିଙ୍ଗ୍ କିମ୍ବା ଜୋନ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବିଭାଜନ ପ୍ରୟୋଗ କରିପାରିବା। ଉଚ୍ଚ-କଠୋରତା ଆବଶ୍ୟକତା ପାଇଁ ଧାତୁ-ସମର୍ଥିତ ସଂସ୍କରଣ ଉପଲବ୍ଧ।
ଆପଣଙ୍କର ୱାଫର ଆକାର ଏବଂ ୱାରପେଜ୍ ପରୀକ୍ଷା ପାଇଁ ଏକ ନମୁନା ଅନୁରୋଧ କରନ୍ତୁ।
