ପ୍ଲାଜମା ଏଚ୍ ଏବଂ ସିଭିଡି ସିଷ୍ଟମ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ପ୍ୟୁରିଟି ଆଲୁମିନା ଚାମ୍ବର ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ

ସେଣ୍ଟସେରାର ଚାମ୍ବର ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ ହେଉଛି ପ୍ଲାଜ୍ମା ଏଚ୍, CVD, ଏବଂ PVD ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣରେ ବ୍ୟବହୃତ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା କିଟ୍ ଉପାଦାନ। 99.8% ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) ରୁ ନିର୍ମିତ, ଏହି ରିଙ୍ଗ ପ୍ଲାଜ୍ମାକୁ ସୀମିତ କରିବା ଏବଂ ଆୟନ କୋଣୀୟ ବଣ୍ଟନକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରିବା ପାଇଁ ୱାଫର ଧାରକୁ ଘେରି ରହିଥାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ୱାଫର ପୃଷ୍ଠରେ ଏଚ୍ ସମାନତା ଉନ୍ନତ ହୋଇଥାଏ। ଏହି ସାମଗ୍ରୀ ଅସାଧାରଣ ପ୍ଲାଜ୍ମା ପ୍ରତିରୋଧ, ଉଚ୍ଚ ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଶକ୍ତି (15×10⁶ V/m), ଏବଂ 1600°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯାହା ଆକ୍ରମଣାତ୍ମକ ଫ୍ଲୋରିନ୍- କିମ୍ବା କ୍ଲୋରିନ୍-ଆଧାରିତ ପ୍ଲାଜ୍ମା ପରିବେଶରେ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। ପ୍ରିସିସନ୍-ଗ୍ରାଉଣ୍ଡ ID/OD ଏବଂ ସମତଳତା (≤10 μm) ସଠିକ୍ ୱାଫର ଧାର ସ୍ଥିତିକରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରେ, ଧାର ତ୍ରୁଟି ଏବଂ କଣିକା ସୃଷ୍ଟିକୁ ହ୍ରାସ କରେ।

ବିଶେଷତାଗୁଡ଼ିକ(୯୯.୮% Al ଉପରେ ଆଧାରିତ)₂O₃):

ପ୍ରୟୋଗ:

• · ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଏଚ୍ ଚାମ୍ବର ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ (ଅକ୍ସାଇଡ୍, ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଏଚ୍)
• · ସିଲିକନ୍ ଏଚ୍ ଚାମ୍ବର ଏଜ୍ ରିଙ୍ଗ୍
• · CVD ଚାମ୍ବର ପ୍ରକ୍ରିୟା କିଟ୍ ରିଙ୍ଗ୍ସ
• · PVD ଚାମ୍ବର ସିଲ୍ଡ ଏବଂ କ୍ଲାମ୍ପ ରିଙ୍ଗଗୁଡ଼ିକ

ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା:

ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା ପାଉଡରକୁ ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକାଲି ଚାପି → ସବୁଜ ମେସିନ୍ ଦ୍ୱାରା ପାଖାପାଖି-ନେଟ୍ ଆକାର → 1600°C ରେ ସିଣ୍ଟର୍ କରାଯାଇଛି → ID, OD, ଏବଂ ଘନତାର CNC ହୀରା ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ → ≤10 μm ସମତଳତା ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ଲାପିଂ → ଅଲ୍ଟ୍ରାସୋନିକ ସଫା → 100% CMM ନିରୀକ୍ଷଣ। ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ Ra ≤0.4 μm କଣିକା ଆଡ଼ଜେସନକୁ କମ କରିଥାଏ।

ଗୁଣବତ୍ତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ:

• · ୧୦୦% ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ନିରୀକ୍ଷଣ (ID, OD, ଘନତା, ସମାନ୍ତରାଳତା)
• · ମାଇକ୍ରୋ-ଫଟା ପାଇଁ ଡାଇ ପେନିଟ୍ରାଣ୍ଟ ପରୀକ୍ଷା (କୌଣସି ଫାଟ ଅନୁମତି ନାହିଁ)
• · 20× ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପ ତଳେ ଦୃଶ୍ୟ ନିରୀକ୍ଷଣ - କୌଣସି ଚିପ୍ସ, ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ କିମ୍ବା ରଙ୍ଗ ବିବର୍ଣ୍ଣକରଣ ନାହିଁ
• · ASTM D149 (ନମୁନା) ଅନୁସାରେ ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଶକ୍ତି ପରୀକ୍ଷା

ସିଲିକନ୍ କିମ୍ବା କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ ଉପରେ ଲାଭ:

• · ଫ୍ଲୋରୋକାର୍ବନ ପ୍ଲାଜମାରେ 5-10× ଅଧିକ ଜୀବନକାଳ
• · ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ଦୂଷିତ କରିବା ପାଇଁ କୌଣସି ବ୍ୟବହାରଯୋଗ୍ୟ କ୍ଷରଣ କଣିକା ନାହିଁ
• · ଅଧିକ ଡାଇଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଶକ୍ତି ଆର୍ସିଂକୁ ରୋକିଥାଏ
• · ହଜାର ହଜାର RF ଘଣ୍ଟା ଧରି ସମତଳତା ଏବଂ ପରିମାଣିକ ସଠିକତା ବଜାୟ ରଖେ।

ବିକଳ୍ପ ସାମଗ୍ରୀ — Yttria-ସ୍ଥିର ଜିରକୋନିଆ (ZrO)₂):

ଅଧିକ ଫ୍ରାକ୍ଚର କଠିନତା ଆବଶ୍ୟକ କରୁଥିବା ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ (ଯଥା, ବାରମ୍ବାର ଥର୍ମାଲ୍ ସାଇକେଲିଂ କିମ୍ବା ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଆଘାତ ସହିତ ଚାମ୍ବର), ZrO₂ ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ୍ (ଘନତା 6.03 g/cm³, ନମନୀୟ ଶକ୍ତି 1000 MPa, ଫ୍ରାକ୍ଚର କଠିନତା 5-8 MPa·m¹/²) ଉପଲବ୍ଧ। ତଥାପି, ଆଲୁମିନା ଉତ୍ତମ ମୂଲ୍ୟ-କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମତା ପ୍ରଦାନ କରେ ଏବଂ ଅଧିକାଂଶ ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ୍ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଏହା ଶିଳ୍ପ ମାନକ।

କଷ୍ଟମାଇଜେସନ୍:

• · ଗ୍ରାହକଙ୍କ ଚିତ୍ର ଅନୁସାରେ ଷ୍ଟେପ୍ ପ୍ରୋଫାଇଲ୍, କାଉଣ୍ଟରବୋର, କିମ୍ବା ମାଉଣ୍ଟିଂ ହୋଲ୍
• · ବର୍ଦ୍ଧିତ ପ୍ଲାଜମା କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ ପାଇଁ Y₂O₃ ଆବରଣ (ଘନତା 20-100 μm)
• · ଅଂଶ ସଂଖ୍ୟା, ତାରିଖ କୋଡ୍, କିମ୍ବା ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟ ଚିହ୍ନର ଲେଜର ଚିହ୍ନ

ଟିପ୍ପଣୀ:ସମସ୍ତ ତଥ୍ୟ ଯୋଗାଣ କରାଯାଇଥିବା Al₂O₃ ଗୁଣଧର୍ମ ସାରଣୀକୁ କଡ଼ାକଡ଼ି ଅନୁସରଣ କରେ। ZrO₂ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ ପାଇଁ, ଯୋଗାଇ ଦିଆଯାଇଥିବା ଜିରକୋନିଆ ଡାଟାସିଟ୍ ଦେଖନ୍ତୁ। ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ ଡିଜାଇନ୍ ପାଇଁ ପେଟେଣ୍ଟ କ୍ଲିୟରାନ୍ସ ଆବଶ୍ୟକ ହୋଇପାରେ - ବୌଦ୍ଧିକ ସମ୍ପତ୍ତି ଅଧିକାର ଯାଞ୍ଚ କରିବା ପାଇଁ ଗ୍ରାହକମାନେ ଦାୟୀ।