ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଚାମ୍ବର ସିଲିଂ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ସିଲ୍ ରିଙ୍ଗ
ସେଣ୍ଟସେରାର ସିରାମିକ୍ ସିଲ୍ ରିଙ୍ଗକୁ ଇଲାଷ୍ଟୋମର୍ ନଷ୍ଟ ହେଉଥିବା ଅତ୍ୟନ୍ତ ପରିବେଶରେ ପଲିମର O-ରିଙ୍ଗର ବିକଳ୍ପ ଭାବରେ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି। 99.8% ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) ରୁ ନିର୍ମିତ, ଏହି କଠୋର ସିଲ୍ ରିଙ୍ଗକୁ ସ୍ଥିର ସିଲିଂ ପ୍ରୟୋଗରେ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ - ସାଧାରଣତଃ ଏକ ନରମ ଧାତୁ କିମ୍ବା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଗାସ୍କେଟ ସହିତ ଯୋଡା ହୋଇଥାଏ - 800°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପମାତ୍ରାରେ ଏବଂ ଆକ୍ରମଣାତ୍ମକ ପ୍ଲାଜମା କିମ୍ବା ରାସାୟନିକ ପରିବେଶରେ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ଭାକ୍ୟୁମ୍ କିମ୍ବା ଗ୍ୟାସ୍ କଣ୍ଟେନମେଣ୍ଟ ପ୍ରଦାନ କରିବା ପାଇଁ। ଏହି ସାମଗ୍ରୀ ଶୂନ୍ୟ ଗ୍ୟାସିଂ, ଉଚ୍ଚ ସଙ୍କୋଚନ ଶକ୍ତି (ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି 361 MPa), ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଜଡ଼ତା (HF ବ୍ୟତୀତ ହାଲୋଜେନ୍, ଏସିଡ୍ ଏବଂ କ୍ଷାର ପ୍ରତିରୋଧୀ) ପ୍ରଦାନ କରେ। ସଠିକତା-ଲାପ୍ ହୋଇଥିବା ସିଲିଂ ପୃଷ୍ଠ (ସମତଳତା ≤5 μm, ପୃଷ୍ଠ ରୁକ୍ଷତା Ra ≤0.2 μm) ମେଟିଂ ଧାତୁ କିମ୍ବା ସିରାମିକ୍ ଉପାଦାନ ସହିତ ଲିକ୍-ଟାଇଟ୍ ସମ୍ପର୍କ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
ବିଶେଷତାଗୁଡ଼ିକ(୯୯.୮% Al ଉପରେ ଆଧାରିତ)₂O₃):
| ସମ୍ପତ୍ତି | ମୂଲ୍ୟ |
| ସାମଗ୍ରୀ | ୯୯.୮% ଆଲୁମିନା (ହାତୀଦାନ୍ତ) |
| ଘନତ୍ୱ | ୩.୯୩ ଗ୍ରାମ/ସେମି³ |
| ଜଳ ଅବଶୋଷଣ | 0% |
| ନମନୀୟ ଶକ୍ତି | ୩୬୧ ଏମ୍ପିଏ |
| ସଙ୍କୋଚନ ଶକ୍ତି (ଆନୁମାନିକ) | >୨୦୦୦ ମେଗାପାଏଲ |
| ଭିକରସ୍ କଠିନତା | ୧୬ ଜିପିଏ |
| ତାପଜ ବିସ୍ତାର (୨୫-୧୦୦୦°C) | ୭.୨×୧୦⁻⁶/℃ |
| ସର୍ବାଧିକ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ତାପମାତ୍ରା | ୮୦୦°C (ବାୟୁ), ୧୬୦୦°C (ନିଷ୍କ୍ରିୟ) |
| ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ (ସିଲିଂ ଫେସ୍) | ରା ≤0.2 μm (ଲାପ୍ ହୋଇଥିବା) |
| ସମତଳତା (ପ୍ରତି 25 ମିମି) | ≤5 μମି |
| ହିଲିୟମ୍ ଲିକ୍ ହାର | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (ଉପଯୁକ୍ତ ଗାସେଟ୍ ସହିତ) |
ପ୍ରୟୋଗ:
- · ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବର ସ୍ଥିର ସିଲ୍ (CVD, PVD, ଇଚ୍)
- · ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଚୁଲି ଦ୍ୱାର ସିଲ୍
- · ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଫିଡ୍ଥ୍ରୁ ଫ୍ଲାଙ୍ଗେସ୍
- · ରାସାୟନିକ ରିଆକ୍ଟର ଜାହାଜ ବନ୍ଦ କରିବା
ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା:
ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ → ୧୬୦୦°C ରେ ସିଣ୍ଟରିଂ → ଅଲ୍ଟ୍ରା-ଫ୍ଲାଟ, ସ୍ମୁଥ୍ ସିଲିଂ ଫେସ୍ → ଏଜ୍ ଚାମ୍ଫରିଂ → ଅଲ୍ଟ୍ରାସୋନିକ୍ ସଫା କରିବା ପାଇଁ ପ୍ରିସିସନ୍ ଡବଲ୍-ସାଇଡ୍ ଲାପିଂ। ପ୍ରତ୍ୟେକ ରିଙ୍ଗକୁ ଏକ ମାନକ ଧାତୁ ଗାସ୍କେଟ ସହିତ ଏକ ହିଲିୟମ୍ ଲିକ୍ ଡିଟେକ୍ଟରରେ ୧୦୦% ଲିକ୍-ପରୀକ୍ଷିତ କରାଯାଏ।
ଗୁଣବତ୍ତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ:
- · CMM ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ଯାଞ୍ଚ (ID, OD, ଘନତା, ସମାନ୍ତରାଳତା)
- · Ra ଏବଂ ତରଙ୍ଗ ପାଇଁ ପୃଷ୍ଠ ପ୍ରୋଫାଇଲୋମିଟର
- · ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଫ୍ଲାଟ୍ ବ୍ୟବହାର କରି ସମତଳତା ମାପ
- · ହିଲିୟମ୍ ଲିକ୍ ପରୀକ୍ଷା (ବ୍ୟାକ୍-ଚାପ ପଦ୍ଧତି)
ପଲିମର ଓ-ରିଙ୍ଗ୍ ଉପରେ ଲାଭ:
- FFKM ପାଇଁ 800 ° C ବନାମ <300 ° C ପ୍ରତିରୋଧ କରେ |
- · ଶୂନ୍ୟ ଗ୍ୟାସ ନିର୍ଗତ - ଶୂନ୍ୟ ପରିବେଶର କୌଣସି ପ୍ରଦୂଷଣ ନାହିଁ
- · ସମସ୍ତ ପ୍ଲାଜ୍ମା ରସାୟନ (ଫ୍ଲୋରିନ୍, କ୍ଲୋରିନ୍, ଅମ୍ଳଜାନ) ପ୍ରତି ପ୍ରତିରୋଧୀ।
- · କୌଣସି ସଙ୍କୋଚନ ସେଟ୍ କିମ୍ବା ସ୍ଥାୟୀ ବିକୃତି ନାହିଁ
- · ସ୍ୱଚ୍ଛ ପରିବେଶରେ ଅସୀମିତ ସେବା ଜୀବନ
ସୀମା (ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ମନ୍ତବ୍ୟ):
- · ଏକ O-ରିଙ୍ଗ୍ ନୁହେଁ— ଏହା ଏକ କଠୋର ସିରାମିକ୍ ରିଙ୍ଗ ଯାହାକୁ ସିଲ୍ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ନରମ ଗାସେଟ୍ (ତମ୍ବା, ଆଲୁମିନିୟମ୍, କିମ୍ବା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍) ଆବଶ୍ୟକ ହୁଏ।
- · ଗତିଶୀଳ ଗତି କିମ୍ବା ବଡ଼ ଫ୍ଲାଞ୍ଜ ଭୁଲ ଆଲାଇନମେଣ୍ଟକୁ ସ୍ଥାନ ଦିଏ ନାହିଁ।
- · ପଲିମର ଓ-ରିଙ୍ଗ୍ ତୁଳନାରେ ପ୍ରାରମ୍ଭିକ ମୂଲ୍ୟ ଅଧିକ, କିନ୍ତୁ ଅଧିକ ଜୀବନକାଳ ମାଲିକାନା ମୂଲ୍ୟ ହ୍ରାସ କରେ।
- · ଭଙ୍ଗୁର - ସତର୍କତାର ସହିତ ହାତ ଲଗାନ୍ତୁ; ବିନ୍ଦୁ ପ୍ରଭାବ କିମ୍ବା ବଙ୍କା ଚାପକୁ ଏଡାନ୍ତୁ।
ଟିପ୍ପଣୀ:ଉପରୋକ୍ତ ତଥ୍ୟ ଯୋଗାଣ କରାଯାଇଥିବା Al₂O₃ ଗୁଣଧର୍ମ ସାରଣୀକୁ କଡ଼ାକଡ଼ି ଅନୁସରଣ କରେ। ଇଲାଷ୍ଟୋମେରିକ୍ ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ କୌଣସି ତଥ୍ୟ ପ୍ରଦାନ କରାଯାଇ ନାହିଁ। ଏହି ଉତ୍ପାଦ ଏକ ସ୍ଥିର ସିଲ୍ ରିଙ୍ଗ, ଏକ ଇଲାଷ୍ଟୋମେରିକ୍ O-ରିଙ୍ଗ ନୁହେଁ। ଦୟାକରି ନିଶ୍ଚିତ କରନ୍ତୁ ଯେ ଏହା ଆପଣଙ୍କର ଆବେଦନ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରେ କି ନାହିଁ।
