ବର୍ଣ୍ଣୋଲି ସେରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍ - ପତଳା ଏବଂ ଭଙ୍ଗା ୱେଫର୍ ପାଇଁ ଅଣ-ସମ୍ପର୍କ ୱେଫର୍ ପରିଚାଳନା

ସେଣ୍ଟସେରାର ବର୍ଣ୍ଣୋଲି ସିରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍ ଭୌତିକ ସମ୍ପର୍କ ବିନା ୱେଫର୍‌ଗୁଡ଼ିକୁ ପରିଚାଳନା କରିବା ପାଇଁ ଏରୋଡାଇନାମିକ୍ ଲିଫ୍ଟ ବ୍ୟବହାର କରେ। ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା 99.8% ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) କିମ୍ବା ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC) ରୁ ନିର୍ମିତ, ଏଥିରେ ସଠିକ୍-ଯନ୍ତ୍ରଯୁକ୍ତ ନୋଜଲ୍ ରହିଛି ଯାହା ଚାପଯୁକ୍ତ ଗ୍ୟାସ୍ ବାହାର କରି ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍ ଏବଂ ୱେଫର ମଧ୍ୟରେ ଏକ ପତଳା ବାୟୁ ଫିଲ୍ମ ସୃଷ୍ଟି କରେ। ଏହି ଅଣ-ସଂଯୋଗ ନୀତି ପଛପାର୍ଶ୍ୱ ପ୍ରଦୂଷଣ, ଧାର ଚିପିଂ ଏବଂ ପୃଷ୍ଠ କ୍ଷତିକୁ ଦୂର କରେ, ଏହାକୁ ପତଳା (≤100 μm), ଭଙ୍ଗୁର, କିମ୍ବା ବିକୃତ ୱେଫର୍‌ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ କରିଥାଏ। ସିରାମିକ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉଚ୍ଚ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି (Al₂O₃ ପାଇଁ 361 MPa; SiC ପାଇଁ 550-600 MPa ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ), କମ ମାଂସ ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ-ଗତି ୱେଫର୍‌ ସ୍ଥାନାନ୍ତର ରୋବୋଟ୍‌ରେ ପୁନରାବୃତ୍ତିଯୋଗ୍ୟ ସ୍ଥିତି ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।

ସାମଗ୍ରୀ ଉପରେ ଟିପ୍ପଣୀ:କଠୋରତା, ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଇନସୁଲେସନ, ରାସାୟନିକ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ମୂଲ୍ୟ-ପ୍ରଭାବଶାଳୀତାର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ମିଶ୍ରଣ ଯୋଗୁଁ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ୱେଫର ହ୍ୟାଣ୍ଡଲିଂରେ ସିରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର ପାଇଁ ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) ସର୍ବାଧିକ ବ୍ୟବହୃତ ସାମଗ୍ରୀ। ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC) ସର୍ବାଧିକ ଦାବି କରୁଥିବା ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ପରିବାହୀତା, ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା ଏବଂ ଆହୁରି ଭଲ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦାନ କରେ। ଯଦିଓ yttria-ସ୍ଥିର ଜିରକୋନିଆ (ZrO₂) କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରାରେ ଉଚ୍ଚ ଫ୍ରାକ୍ଚର କଠିନତା ପ୍ରଦାନ କରେ, ଏହାର ଉଚ୍ଚ ଘନତ୍ୱ ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ତାପଜ ବିସ୍ତାର ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଯୋଗୁଁ ଏହି ପ୍ରୟୋଗରେ ଏହା କମ୍ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ; ଏହାକୁ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପରିସ୍ଥିତି ପାଇଁ ବିଚାର କରାଯାଇପାରେ ଯେଉଁଠାରେ ଅସାଧାରଣ ଫ୍ରାକ୍ଚର କଠିନତା ଆବଶ୍ୟକ। ଦୟାକରି ସାମଗ୍ରୀ ଚୟନ ମାର୍ଗଦର୍ଶନ ପାଇଁ ଆମର ବୈଷୟିକ ଦଳ ସହିତ ପରାମର୍ଶ କରନ୍ତୁ।

ବିଶେଷତାଗୁଡ଼ିକ(୯୯.୮% Al ଉପରେ ଆଧାରିତ)₂O₃):

କାର୍ଯ୍ୟକାରୀ ନୀତି:

ସଙ୍କୁଚିତ ବାୟୁ କିମ୍ବା ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ (0.2–0.6 MPa) ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଚ୍ୟାନେଲ ମାଧ୍ୟମରେ ଯୋଗାଣ କରାଯାଏ ଏବଂ ସଠିକ୍ ନୋଜଲ୍ ମାଧ୍ୟମରେ ବାହାରକୁ ଯାଏ। ତ୍ୱରିତ ବାୟୁପ୍ରବାହ ଶେଷ ପ୍ରଭାବକ (ବର୍ଣ୍ଣୋଲି ପ୍ରଭାବ) ଉପରେ ଏକ ନିମ୍ନ-ଚାପ କ୍ଷେତ୍ର ସୃଷ୍ଟି କରେ, ଯାହା ଉଠାଣ ଶକ୍ତି ସୃଷ୍ଟି କରେ ଯାହା 50-200 μm ବ୍ୟବଧାନରେ ୱେଫରକୁ ସମର୍ଥନ କରେ। କୌଣସି ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଗାତ କିମ୍ବା ପ୍ୟାଡ୍ ୱେଫର ପଛ ପାର୍ଶ୍ୱକୁ ସ୍ପର୍ଶ କରେ ନାହିଁ।

ପ୍ରୟୋଗ:

• · ପଛପାର୍ଶ୍ୱ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପରେ ପତଳା ୱେଫର (≤50 μm) ହ୍ୟାଣ୍ଡେଲିଂ
• · ୱାର୍ପ୍ଡ ୱାଫର ପରିବହନ (ଯଥା, CVD କିମ୍ବା ଆନିଲିଂ ପରେ)
• · ସୌର ସେଲ୍ ଏବଂ LED ନୀଳାକାର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସ୍ଥାନାନ୍ତର
• · କ୍ଲିନରୁମ୍ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତକରଣ ପାଇଁ ଶୂନ୍ୟ କଣିକା ସୃଷ୍ଟି ଆବଶ୍ୟକ।
• · ପ୍ରଦର୍ଶନ ନିର୍ମାଣରେ କାଚ ପ୍ୟାନେଲ ପରିଚାଳନା

ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା:

ଗ୍ୟାସ୍ ଚ୍ୟାନେଲ ଏବଂ ନୋଜଲ୍ ଗାତଗୁଡ଼ିକର ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ପାଉଡର → 5-ଅକ୍ଷ CNC ମେସିନିଂ (ବ୍ୟସାୟ 0.3–1.0 ମିମି, ସହନଶୀଳତା ±0.01 ମିମି) → ପୃଷ୍ଠକୁ Ra ≤0.4 μm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଲାପିଂ → ଅଲ୍ଟ୍ରାସୋନିକ ସଫା କରିବା → ହିଲିୟମ୍ ଲିକ୍ ପରୀକ୍ଷା (ଗ୍ୟାସ୍ ଚ୍ୟାନେଲ) ରୁ ସିଣ୍ଟର କରାଯାଇଥିବା ସିରାମିକ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍। କୌଣସି ଆବରଣ ଆବଶ୍ୟକ ନାହିଁ - ଖାଲି ସିରାମିକ୍ ପୃଷ୍ଠ ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଏବଂ ପ୍ରଦୂଷଣକାରୀ ନୁହେଁ।

ଗୁଣବତ୍ତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ:

• · ନୋଜଲ୍ ସ୍ଥିତି, ହାତ ଲମ୍ବ ଏବଂ ସମତଳତାର 100% ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ନିରୀକ୍ଷଣ (CMM)
• · ବାୟୁ ପ୍ରବାହ ସମାନତା ପରୀକ୍ଷା: ସମସ୍ତ ନୋଜଲ୍ ମଧ୍ୟରେ ଚାପ ହ୍ରାସ ≤5%
• · ଲିକ୍ ପରୀକ୍ଷା: 0.6 MPa ରେ ଗ୍ୟାସ୍ ଚ୍ୟାନେଲଗୁଡ଼ିକୁ ସିଲ୍ କରାଯାଇଛି, 30 ସେକେଣ୍ଡରୁ ଅଧିକ ଚାପ ହ୍ରାସ ପାଇନାହିଁ
• · ସୂକ୍ଷ୍ମ ଫାଟ କିମ୍ବା ବର୍ ପାଇଁ 20× ମାଇକ୍ରୋସ୍କୋପ ତଳେ ଦୃଶ୍ୟ ନିରୀକ୍ଷଣ

Aପାରମ୍ପରିକ ସମ୍ପର୍କ ଶେଷ ପ୍ରଭାବକ ଉପରେ ଲାଭ:

• · ଶୂନ୍ୟ ୱେଫର ପଛପାର୍ଶ୍ୱ ପ୍ରଦୂଷଣ - କୌଣସି ଯାନ୍ତ୍ରିକ ସମ୍ପର୍କ ନାହିଁ
• · ପତଳା ୱେଫରର କୌଣସି ଧାର ଚିପିବା କିମ୍ବା ଭାଙ୍ଗିବା ନାହିଁ
• · ସ୍ଥିର ବ୍ୟବଧାନ ସହିତ ବିକୃତ ୱେଫର୍ସ (୧ ମିମି ଧନୁ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ) ପରିଚାଳନା କରେ
• · ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଜେନେରେଟର ଏବଂ ପୋରସ୍ ଚକ୍ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣକୁ ଦୂର କରେ।
• · ସିରାମିକ୍ ନିର୍ମାଣ କ୍ଷୟ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଆକ୍ରମଣକୁ ପ୍ରତିରୋଧ କରେ

କଷ୍ଟମାଇଜେସନ୍:

• · ୨୦୦ ମିମି, ୩୦୦ ମିମି, କିମ୍ବା କଷ୍ଟମ୍ ୱାଫର ଆକାର ପାଇଁ ଉପଲବ୍ଧ
• · ଗ୍ୟାସ୍ ନୋଜଲ୍ ଢାଞ୍ଚା: ସିଧା, କୋଣିଆ, କିମ୍ବା ଘୂର୍ଣ୍ଣି ପ୍ରକାର
• · ସାମଗ୍ରୀ: ଆଲୁମିନା (ମାନକ) କିମ୍ବା ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (ସର୍ବାଧିକ ତାପଜ ପରିବାହୀତା ଏବଂ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ ପାଇଁ)
• · OEM ଡ୍ରଇଂ ଅନୁସାରେ ହାତ ଲମ୍ବ, ମାଉଣ୍ଟିଂ ଫ୍ଲାଞ୍ଜ ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍ ପୋର୍ଟ ସ୍ଥାନ

ସୀମାବଦ୍ଧତା:

ବର୍ଣ୍ଣୋଲି ନୀତି କାର୍ଯ୍ୟକାରୀତା (ନୋଜଲ୍ ଡିଜାଇନ୍, ବାୟୁ ବ୍ୟବଧାନ) ପ୍ରଦାନ କରାଯାଇଥିବା ସାମଗ୍ରୀ ଗୁଣଧର୍ମ ସାରଣୀର ପରିସର ବାହାରେ। ଉପରୋକ୍ତ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଏବଂ ତାପଜ ଗୁଣଧର୍ମ 99.8% Al₂O₃ ପାଇଁ ଯୋଗାଣ କରାଯାଇଥିବା ଡାଟାସିଟ୍ କୁ କଡ଼ାକଡ଼ି ଅନୁସରଣ କରେ। ଏହି ସାମଗ୍ରୀ ଗୁଣଧର୍ମ ଉପରେ ଆଧାର କରି ଚାପଯୁକ୍ତ ଗ୍ୟାସ ପ୍ରବାହ ଅଧୀନରେ ସେରାମିକ୍‌ର କୌଣସି କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ହ୍ରାସ ଆଶା କରାଯାଏ ନାହିଁ। ଗ୍ୟାସ ପ୍ରବାହ ପ୍ରତି ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ୱେଫର୍ (ଯଥା, ଭଙ୍ଗୁର ଗଠନ ସହିତ MEMS), ଗ୍ୟାସ ଚାପ ଏବଂ ନୋଜଲ୍ ଡିଜାଇନ୍ ସେହି ଅନୁସାରେ ସଜାଡ଼ିବା ଉଚିତ।