-
ୱେଫର ହ୍ୟାଣ୍ଡଲିଂ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ରୋବୋଟ୍ ହାତ
ସେଣ୍ଟସେରାର ଆଲୁମିନା ସିରାମିକ୍ ରୋବୋଟ୍ ବାହୁ 99.8% ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା Al₂O₃ (ଆଲୁମିନା) ରୁ ସଠିକତା-ଇଞ୍ଜିନିୟର ହୋଇଛି। ଏହା ଅସାଧାରଣ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି (361 MPa), ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା (16 GPa), ଏବଂ କମ ଘନତ୍ୱ (3.93 g/cm³) କୁ ମିଶ୍ରଣ କରିଥାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ୱେଫର ସ୍ଥାନାନ୍ତର ପାଇଁ ଏକ ହାଲୁକା କିନ୍ତୁ କଠୋର ବାହୁ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ। ସାମଗ୍ରୀର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ (7.2×10⁻⁶/°C) ସିଲିକନ୍ ସହିତ ନିକଟରୁ ମେଳ ଖାଏ, ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସମୟରେ ତାପଜ ଅମେଳକୁ ହ୍ରାସ କରେ।
-
ବର୍ଣ୍ଣୋଲି ସେରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍ - ପତଳା ଏବଂ ଭଙ୍ଗା ୱେଫର୍ ପାଇଁ ଅଣ-ସମ୍ପର୍କ ୱେଫର୍ ପରିଚାଳନା
ସେଣ୍ଟସେରାର ବର୍ଣ୍ଣୋଲି ସିରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍ ଭୌତିକ ସମ୍ପର୍କ ବିନା ୱେଫର୍ଗୁଡ଼ିକୁ ପରିଚାଳନା କରିବା ପାଇଁ ଏରୋଡାଇନାମିକ୍ ଲିଫ୍ଟ ବ୍ୟବହାର କରେ। ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା 99.8% ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) କିମ୍ବା ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC) ରୁ ନିର୍ମିତ, ଏଥିରେ ସଠିକ୍-ଯନ୍ତ୍ରଯୁକ୍ତ ନୋଜଲ୍ ରହିଛି ଯାହା ଚାପଯୁକ୍ତ ଗ୍ୟାସ୍ ବାହାର କରି ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍ ଏବଂ ୱେଫର ମଧ୍ୟରେ ଏକ ପତଳା ବାୟୁ ଫିଲ୍ମ ସୃଷ୍ଟି କରେ। ଏହି ଅଣ-ସଂଯୋଗ ନୀତି ପଛପାର୍ଶ୍ୱ ପ୍ରଦୂଷଣ, ଧାର ଚିପିଂ ଏବଂ ପୃଷ୍ଠ କ୍ଷତିକୁ ଦୂର କରେ, ଏହାକୁ ପତଳା (≤100 μm), ଭଙ୍ଗୁର, କିମ୍ବା ବିକୃତ ୱେଫର୍ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ କରିଥାଏ। ସିରାମିକ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉଚ୍ଚ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି (Al₂O₃ ପାଇଁ 361 MPa; SiC ପାଇଁ 550-600 MPa ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ), କମ ମାଂସ ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ-ଗତି ୱେଫର୍ ସ୍ଥାନାନ୍ତର ରୋବୋଟ୍ରେ ପୁନରାବୃତ୍ତିଯୋଗ୍ୟ ସ୍ଥିତି ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
-
ଟେଫଲନ୍ ଆବେଗଯୁକ୍ତ ସେରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍ - ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ୱେଫର ପରିଚାଳନା ପାଇଁ ନନ୍-ଷ୍ଟିକ୍ ପୃଷ୍ଠ
ସେଣ୍ଟସେରାର ଟେଫଲୋନ (PTFE) ଆବୃତ ସିରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର ଏକ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଆଲୁମିନା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସହିତ ଏକ ସମାନ, କମ୍-ଘର୍ଷଣ PTFE ଆବରଣ (ଘୂର୍ଣ୍ଣତା 15-30 μm) ମିଶ୍ରଣ କରେ। ଏହି ଆବରଣ ଏକ ଅତ୍ୟନ୍ତ କମ୍ ଘର୍ଷଣ ଗୁଣାଙ୍କ (≤0.1), ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ନନ-ଷ୍ଟିକ୍ ଗୁଣ ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯାହା ୱାଫର ଆଡ଼େସନକୁ ରୋକିଥାଏ ଏବଂ ପଛପାର୍ଶ୍ୱ ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ଦୂର କରିଥାଏ। ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ସିରାମିକ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ (99.8% Al₂O₃) ଉଚ୍ଚ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି (361-1000 MPa), ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ 260°C (ଆବରଣ ସୀମା) ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ। ଏହି ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର ନାଜୁକ, ପତଳା କିମ୍ବା ଷ୍ଟିକ୍ ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ପରିଚାଳନା କରିବା ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ (ଯଥା, ଫଟୋରେସିଷ୍ଟ ଆବରଣ କିମ୍ବା ରାସାୟନିକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପରେ)।
